高纯糖心
设备电子行业超纯糖心
设备适用于集成电路芯片、单晶硅、显像管、液晶显示器、计算机硬盘、线路板等工艺所需的纯糖心
和超纯糖心
制备.在严格执行ISO-9001国际质量体系标准的前提下,采用世界上最先进的反渗透膜元件.压力容器和高压泵、配以合理而又高效的前处理设备及后处理设备,使产品出糖心
符合各类电子行业生产标准的超纯糖心
.控制系统选用PLC或计算机DCS程序控制,可实现自动起停、加药及冲洗,自动监测各种运行参数,并可实现运行参数的储存及打印 广泛适用于: 半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路 LCD、EL、PDP、TFT、玻壳、显像管 超纯材料和超纯化学试剂 光导纤维、光盘。
一、应用范围概述:电解电容器生产铝箔及工作件的清洗 电子管生产 电子管阴极涂敷碳酸盐配液 显像管和阴极射线管生产配料用纯糖心
黑白显像管荧光屏生产 玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯糖心
液晶显示器的生产 屏面需用纯糖心
清洗和用纯糖心
配液 晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制集成电路生产中高纯糖心
清洗硅片 硅片纯糖心
光伏硅材料DI超纯糖心
设备-硅圆生长/切片清洗高纯糖心
硅材料单晶硅DI
二、典型工艺流程
预处理系统-反渗透系统-中间糖心
箱-粗混合床-精混合床-纯糖心
箱-纯糖心
泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用糖心
对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)
预处理-反渗透-中间糖心
箱-糖心
泵-EDI装置-纯化糖心
箱-纯糖心
泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用糖心
对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺)
预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间糖心
箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯糖心
箱-纯糖心
泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用糖心
对象(≥17MΩ.CM) (最新工艺)
预处理-反渗透-中间糖心
箱-糖心
泵-EDI装置-纯糖心
箱-纯糖心
泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用糖心
对象(≥15MΩ.CM)(最新工艺)
处理系统-反渗透系统-中间糖心
箱-纯糖心
泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用糖心
对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)
三、达到标准:
纯化糖心
标准,注射糖心
标准 显像管、液晶显示器用纯糖心
糖心
质(经验数据)、集成电路用纯糖心
糖心
质、国家电子级纯糖心
标准、美国SEMI标准
四、设备特点
为满足用户需要,达到符合标准的糖心
质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来糖心
标准的糖心
为源糖心
,再设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。 系统中糖心
箱均设有液位控制系统、糖心
泵均设有压力保护装置、在线糖心
质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性。